IECUBE-3830集成电路工艺制造VR实训平台是一个针对集成电路工艺制造环节的入门认知实训平台,学生可以在VR场景中身临其境的学习和锻炼与集成电路工艺制造相关的知识和技能。
与当前工业界工艺厂(Foundry)主流场景一致的VR场景环境。
内部包含多种虚拟设备,例如光刻机、氧化炉、退火炉、气相沉积设备、刻蚀机、外延设备、离子注入机、扩散炉、清洗机和退火设备等。
学生可以基于虚拟设备完成多种器件的制备,例如集成电路电阻、MOSFET、二极管、三极管、JFET、GaAs的完整设备参数设置的流程和生产流程。
熟悉芯片工艺制造相关设备及VR基本操作教学
集成电路电阻制造常规生产实习
集成电路二极管制造常规生产实习
集成电路双极型晶体管制造常规生产实习
集成电路MOSFET常规制造生产实习
集成电路JFET制造常规生产实习
集成电路GaAs制造常规生产实习